第18章 设备故障（第3页）
“这里什么情况？”
周淮生直奔主题。
“1区和2区已经完成第一轮培育。”
万里看着手里的记录参数。
“1区的裂片率133，高于历史平均值71，内部缺陷率94，高于历史平均值51，外部缺陷率213，高于历史平均值73。”
“2区的裂片率、内外部缺陷率也会比历史平均值高一到两个百分点。”
“只是没有1区那么严重。”
万里语气略微停顿。
“1区的主要问题可能与第一次调试时的断电有关。”
“其中有几台因为裂片率过于严重，已经搁置在一边没有使用。”
“这个是1区详细的培育数据。”
汇报完毕万里把记录表递给周淮生。
周淮生看了一眼。
又看了看设备，问道。
“断电之后设备里有什么东西换过吗？”
“没有，所有线路、元器件，包括继电器都检查过，并没有什么问题。”
“腔体的压力值测过吗？”
“侧过，压强和功率都正常。”
“关机那几台长出来的东西在哪里？”
有人去拿过来递给他。
周淮生把它放在高倍镜下观察，可以看到白黄交替的明显分层线。
“老周，能看得出什么问题吗？”
程志文问。
“需要再测试一下。”
周淮生一边脱下手套一边吩咐。
“先把机罩拆掉，万里，找一个空旷的位置，在设备旁架一个测试台。”
“需要关一台设备吗？”
“不用，先用停机的试验，里面不要放东西，架好之后先空机开机。”
“收到。”
万里之前是周淮生的实验室助理。
后来被派到新公司做技术指导。
之后，周淮生和程志文又去了别的区间。
“老周你说这是设备的原因吗？”
他们走在干净的车间里，旁边有工人在忙碌。
值班的负责人过来赶紧过来跟在后面。
“可能是，但不一定。”
“一般问题的出现无非就是人员、机器设备、原材料、工艺方法和生产环境，什么原因都有可能。”
“但是1区比2区的问题明显就很严重。”
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